真空技術(shù)介紹-基本原理
來源：http://m.nftcgyp.cn瀏覽量：載入中...發(fā)布時間：2019.01.30
1.2.1 真空的定義
壓力的定義是垂直作用于表面上且均勻分布的力與單位面積之比。
?
壓力?[Pa] ?
受力 [N]; 1 N = 1 kg m s-2
面積 [m2]
公式 1-3:?壓力定義
在封閉的容器中，氣體顆粒進行熱運動。在其與容器壁的相 互作用中，原子和分子經(jīng)受大量的的碰撞。每次碰撞都會給 容器壁施加力。如果封閉氣體不受外界影響，無論在什么地 方什么方向進行測量，發(fā)生的無數(shù)碰撞導致容器內(nèi)任何一點 的壓力都是相同的。
?
圖 1.2:?總壓力的定義
實際上，只有一種氣體的情況非常少見。不同氣體的混合物 更為常見。這些氣體的每個單一成分都會施加具體的壓力， 該壓力可進行單獨測量，而與其他成分無關(guān)。由各種成分施 加的該壓力被稱為分壓。在理想氣體中，各種成分的分壓加 起來等于總壓力，且互不干擾。分壓之和等于總壓力。
?
圖 1.3:?分壓的定義
我們的環(huán)境空氣就是一個氣體混合物的例子：其分壓組成如所示。
圖 1.1:?大氣的組成。所示分壓是指 在大氣壓下的壓力即1,000 hPa。 注意：水蒸氣所表示的值是在 293 K (20°C) 時的炮和狀態(tài)。二氧化碳和一氧化 碳值的波動取決于時間和地點。所示的一氧化碳是大城市的峰值。其他來源是 指自然的氫濃度為 5 · 10-5% 且分壓為 5?· 10-4?hPa。
在宇宙空間中，根據(jù)鄰近星系的程度，10-18hPa 以下的壓力占主導地位。在地球上，已經(jīng)報道技術(shù)上產(chǎn)生的壓力低于 10-16?hPa。低至 10-16?hPa 的氣壓范圍涵蓋 10的負19 次冪。根據(jù)不同真空獲得設(shè)備和測量設(shè)備所能達到的真空度，我們又把真空范圍根據(jù)真空度進行了分類，如Table 1.2 所示。
?
圖 1.2:?真空技術(shù)中的壓力范圍
計量壓力的單位是帕斯卡。該單位是以法國數(shù)學家、物理學 家、作家兼哲學家布萊茲·帕斯卡（1623?–?1662 年）的名字 命名。根據(jù)公式 1-3，SI 單位帕斯卡是由 Pa = N m-2?組成。 單位 mabr、torr 以及表 1.3 中所示的單位是實際使用中常見 的。
圖 1.3:?壓力單位換算表
1.2.2 氣體方程式的概述
每種材料都是由原子和分子組成。根據(jù)定義，物質(zhì)的量以摩 爾表示。一摩爾的物質(zhì)含有 6.022 · 1023?個構(gòu)成粒子（阿伏 伽德羅常數(shù)。這不是數(shù)值，而是具有單位 mol-1?的物理量）。 1 摩爾的定義是 系統(tǒng)物質(zhì)的量，其包含的粒子數(shù)目與 12 g 碳 同位素?12C 中所含的原子數(shù)目完全相同。
在正常條件下，即壓力為 101,325 Pa 且溫度為 273.15?K （等于 0°C），一摩爾理想氣體填充的體積為 22.414 升。
早在 1664 年，羅伯特·波義耳就研究壓力對一定量空氣的影 響。馬略特在實驗中證實的結(jié)果在波馬定律中總結(jié)如下：
?
公式 1-4:?波義耳定律?
用文字表述波義耳定律：一定質(zhì)量的氣體，在溫度不變的情 況下，其壓力與體積成反比—壓力與體積的乘積恒定不變。
百余年后，一定質(zhì)量的氣體，其體積與溫度的關(guān)系也已確 定：一定質(zhì)量的氣體，在壓力不變的情況下，其體積與溫度成正比，或者
?
公式 1-5:?蓋-呂薩克定律
一定質(zhì)量的氣體受壓力變化和溫度變化影響的結(jié)果是
?
這仍適用于一定質(zhì)量的氣體。一定溫度和一定壓力下的氣體 體積與物質(zhì)的量?ν成正比。我們因此可以這樣書寫：
?
物質(zhì)的量通過稱重來確定。我們可以通過質(zhì)量與摩爾質(zhì)量之 比來表示氣體的量。常數(shù)const.?在此處是指所討論的 1 摩爾 氣體，并且它被稱為氣體常數(shù)?RR。因此，理想氣體狀態(tài) 可描述為如下的壓力、溫度和體積的函數(shù)關(guān)系：
?
公式 1-6:?理想氣體狀態(tài)總方程
|
p |
壓力 |
[Pa] |
|
V |
體積 |
[m3] |
|
m |
質(zhì)量 |
[kg] |
|
M |
摩爾質(zhì)量 |
[kg kmol-1] |
|
R |
一般氣體常數(shù) |
[kJ kmol-1?K-1] |
|
T |
溫度 |
[K] |
物質(zhì)的量?ν?也可表示為阿伏伽德羅常數(shù)有關(guān)的分子數(shù)。
?
公式 1-7:?理想氣體狀態(tài)方程?I
|
N |
粒子數(shù)目 |
? |
? |
|
NA |
阿伏伽德羅常數(shù) |
= 6.022 · 1023 |
[mol-1] |
|
k |
波爾茲曼常數(shù) |
= 1.381 · 10-23 |
[J K-1] |
如果等式兩邊同時除以體積，則我們得到
?
公式 1-8:?理想氣體狀態(tài)方程 II
|
n |
粒子 數(shù)密度 |
[m-3] |
1.2.3 分子數(shù)密度
從公式?1-7?和公式?1-8?可以看出，壓力與粒子數(shù)密度成正 比。由于標準條件下每單位體積的粒子數(shù)目較高，其遵循 10-12?hPa（例如，每立方厘米為 26,500 個分子）壓力將仍 然存在的原則。這就是為何不可能談及空虛或虛無狀態(tài)的原 因，即使在超高真空下也存在分子。
在宇宙空間中，逐漸不能以單位帕斯卡來表示極低的壓力， 例如，低于 10-18?hPa。這些壓力范圍可以更好地通過粒子數(shù)密度來表示，例如，在星際空間中，每立方米的分子數(shù) 小于 104。
1.2.4 熱速度
封閉在容器中的氣體分子完全隨機地相互碰撞。并在過程中 傳輸能量和脈沖。這種傳輸導致速度和/或動能的分布。速度 分布與在概然速度時具有峰值的鐘形曲線（麥克斯韋—玻 耳茲曼分布）相對應(yīng)。
?
公式 1-9:?概然速度
平均熱速度是
?
公式 1-10:?平均速度
下表所示為選定氣體在溫度為 20°C 時的平均熱速度。
?
圖 1.4:?各種氣體的摩爾質(zhì)量和平均熱速度
1.2.5 平均自由程
如果在房間的角落打開香水瓶，需要很長時間才可在房間的 相反角落處檢測到芳香氣體物質(zhì)。這一實驗似乎與前一章節(jié) 中描述的平均氣體速度相矛盾。出現(xiàn)這種情況的原因在于氣 體粒子在其路上遭受大量的碰撞。平均自由程是粒子在與其 他粒子進行兩次連續(xù)碰撞之間可移動的平均距離。
?
圖 1.4:?兩次碰撞之間的平均自由程
對于相同粒子的碰撞，以下適用于平均自由程：
?
公式 1-11:?平均自由程
?
?平均自由程 [m]
分子直徑 ??[m]
?m?質(zhì)量?????[kg]
從 公式?1-11?可看出，平均自由程與溫度成線性比例，與壓力 和分子直徑成反比。在這一點上，我們將忽略學術(shù)文獻中討 論的該等式進一步的變體，學術(shù)文獻研究了諸如不同氣體粒子 直徑的碰撞、氣體粒子與離子或電子的碰撞以及 溫度影響等。
為說明平均自由程的溫度依賴性，公式 1-11 經(jīng)常書寫為將溫 度作為方程右邊的變量。
?
公式 1-12:?平均自由程 II
Table 1.5?Table 1.5 顯示了一些選定氣體在 0°C 時的
.
值。
?
圖 1.5:?選定氣體在 273.15 K 時的平均自由程
使用Table 1.5?中的值，我們現(xiàn)在估算氮分子在各種壓力下的 平均自由程：
?
圖 1.6:?選定氣體在 273.15 K (0°C) 時的平均自由程
因此在大氣壓下，氮分子在兩次碰撞之間移動的距離為 59 nm，而在壓力低于 10-8?hPa 的超高真空下，其移動的距離為幾公里。
分子數(shù)密度和平均自由程的關(guān)系可以用圖表1.5來表示。?1.5.
?
圖 1.5:?氮在溫度為 273.15 K 時的分子數(shù)密度（紅色，右邊 y 軸）和平均自 由程（藍色，左邊 y 軸）
1.2.6 流體類型
平均自由程與流道之間之比可用于描述流體類型。該比率被 稱為克努森數(shù)：
?
公式 1-13:?克努森數(shù)
??平均自由程?[m]
d?流道直徑??[m]
克努森數(shù) 無因次
克努森數(shù)的值表示氣體流量的類型并將其分配到特定的壓力 范圍內(nèi)。表1.7?給出了真空技術(shù)中各種流動類型以及其特 性參數(shù)的概覽。
各種類型流態(tài)的剖面如圖?1.6?所示。
?
圖 1.6:?各種類型流態(tài)的剖面
低真空中的粘性流
在粘性流中，也稱為連續(xù)流，氣體分子間的碰撞很頻繁，但 與容器壁的碰撞沒那么頻繁。在這種情況下，氣體分子的平 均自由程明顯短于流道的尺寸。
在粘性流的情況下，層流和紊流之間存在區(qū)別。在層流中， 氣體粒子保持在彼此始終平行的相同位移層上。如果流速增 加，這些層將被打破，并且流體粒子以完全混亂的方式相互碰 撞。這被稱為紊流。粘性流這兩個區(qū)域之間的邊界可通過雷 諾數(shù)來表示：
?
公式 1-14:?雷諾數(shù)
Re?雷諾數(shù) 無因次
ρ?液體密度 [kg m-3]
v?平均流動速度 [m s-1]
?l?特征長度 [m]
?η??動力粘度 [Pa s]
Re 高值 < 2,300 時，為層流，當 Re > 4,000 時，則為紊流。在 2,300 < Re < 4,000 范圍內(nèi)，占主導地位的是紊流。 層流也有可能，然而，這兩種類型的流動在該范圍內(nèi)均不穩(wěn) 定。
真空的紊流僅在從大氣壓進行抽空操作過程中或進行快速排氣時發(fā)生。在真空系統(tǒng)中，管的尺寸以在相對較高的壓力下只 發(fā)生短暫紊流的方式進行標注，因為發(fā)生在該過程中的高流 阻需要所用泵產(chǎn)生較高的體積流量。
中真空中的克努森流
如果克努森數(shù)在 0.01 和 0.5 之間，這被稱為克努森流。由于 很多過程壓力在中真空范圍內(nèi)，這種類型的流動隨相應(yīng)的頻 率發(fā)生。
高真空和超高真空中的分子流
在克努森數(shù)> 0.5 時，分子間的相互作用幾乎不再出現(xiàn)。占主導地位的是分子流。在這種情況下，平均自由程明顯大于流道的尺寸。在分子流中，壓力與管道直徑的乘積大約 ≤ 1.3 · 10-2?hPa cm。
根據(jù)壓力與管道直徑的乘積，顯示流動范圍概述的圖形如 1.7 所示。
圖 1.7:根據(jù)p·d乘積的真空流動范圍
該圖形清楚地表明，完全根據(jù)壓力是不可接受的簡化，真空 范圍的分類（在 表1.7?中也可發(fā)現(xiàn)）。由于該 分類仍然被普 遍使用，因此在此引用。
?
圖 1.7:?各種類型流態(tài)概覽
1.2.7 pV 氣流量
用一般氣體方程（公式?1-6）除以t時間求出氣體流量
?
公式 1-15:pV 氣流量
pV?氣流量 [Pa m3?s-1]
從方程的右邊可以看出， 恒定質(zhì)量的流量在恒溫 T 時被置 換。這也被稱為 pV 流量或氣體吞吐量。吞吐量是真空泵輸 送的氣體流量。
?
公式 1-16:?真空泵的氣流量
用氣流量除以入口壓力求出體積流量，真空泵的抽速：
?
公式 1-17:?體積流量或真空泵的抽速
Table 1.8中給出了各種氣流量單位的換算表。
?
圖 1.8:?中給出了各種氣流量單位的換算表。
1.2.8 流導
一般而言，真空腔體都是通過管道連接至真空泵。流阻的產(chǎn) 生是氣體分子與壁面之間的外部摩擦以及氣體分子之間的內(nèi) 部摩擦（粘性）的結(jié)果。該流阻以壓差和體積流量或抽速損 失的形式表現(xiàn)出來。在真空技術(shù)中，習慣使用倒數(shù)，管道的 流導率 L 或 C（流導）代替流阻 W。流導率具有體積流量的 尺寸，并且通常以 [l s-1] 或 [m3?h-1] 表示。
氣體流經(jīng)管道在管道端部產(chǎn)生壓差?Δp。以下方程適用：
公式 1-18:?流導的定義
這一原理在形式上類似于電工學的歐姆定律：
?
公式 1-19:?歐姆定律
在公式?1-18?與公式?1-19?的正式對比中，代表流量I,C代表電阻倒數(shù)
，Δp代表電壓U。如果部件并聯(lián)連接，計算各個電導率之和：
?
公式 1-20:?并聯(lián)電導
如果串聯(lián)連接，將電阻（即倒數(shù)）加在一起：
?
公式 1-21:?串聯(lián)電導率
管和管彎頭處的電導在各種流態(tài)中會有所不同。在粘性流 中，它們與平均壓力?pˉpˉ?成正比，在分子流中，他們與壓力無 關(guān)。克努森流代表兩種類型流之間的過渡，流導導率隨克努 森數(shù)的變化而發(fā)生改變。
圖 1.8:?根據(jù)管中平均壓力，光滑圓形管的電導
可通過增加層流導率和分子流導率來獲得克努森范圍的簡單 近似值。我們建議您參考專門的文獻有關(guān)仍在層流范圍和已 經(jīng)在分子流范圍的流導計算以及 考慮到管入口不均勻性 的流導計算。
本出版物考慮層流和分子流范圍的孔口和長圓管的流導 率。
孔口經(jīng)常是真空系統(tǒng)中的流阻。這方面的例子是在測量抽速 的測量穹頂中，閥門、通風裝置或孔口橫截面的縮窄。在容 器壁的管口中，入口的孔口阻力必須也考慮到管阻力中去。阻塞流
讓我們考慮下真空腔體的排氣。當放氣閥打開時，環(huán)境空氣 在壓力 p 下以高速流進容器。達到的流速 不超過聲速。如果 氣體 已經(jīng)達到聲速，在容器可排空時，也已經(jīng)達到了大氣 體吞吐量。流經(jīng)它的吞吐量不是容器內(nèi)壁壓力
的作 用。以下適用于空氣：
公式 1-22:?孔口阻塞?[11]
|
d |
孔口直徑 |
[cm] |
|
pa |
容器上的外部壓力 |
黃先生